從清洗到干燥整個(gè)工序可以對(duì)應(yīng)。最大處理尺寸為12英寸。
該型號(hào)適用于實(shí)驗(yàn)型或者研究開發(fā)用途用。
這種水平式清洗設(shè)備的磨砂工藝僅在表面（單側(cè)）上是正常規(guī)格，但也可以通過增加機(jī)械臂機(jī)構(gòu)將要清洗的晶圓翻轉(zhuǎn)進(jìn)行雙面磨砂，并通過夾住磨砂刷進(jìn)行雙面磨砂。
還有一種將水平旋轉(zhuǎn)清潔和垂直雙面擦洗相結(jié)合的清洗設(shè)備，適用于在狹小的空間內(nèi)也能提高清潔度。
純水+表面活性劑簡(jiǎn)易化學(xué)清洗、SC1清洗、SC2清洗等噴嘴定制開發(fā)各種清洗方式也是可能的。
| 對(duì)應(yīng)尺寸 | 4～12英寸 |
|---|---|
| 使用藥液 | 酸和堿等各種 |
| 磨砂方式 | 單面～雙面對(duì)應(yīng) |
| 優(yōu)勢(shì) | 實(shí)現(xiàn)了高性能，緊湊拼化，占地面積小的優(yōu)勢(shì) |
| 特點(diǎn) |
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| 用途 |
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